三星发力HBM技术:引入飞秒雷射设备提升良率
来源:万德丰 发布时间:3 天前
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据韩媒ET News报道,三星电子正计划通过引入飞秒雷射技术,提升高带宽存储器(HBM)的生产良率。这项技术或将应用于第五代高带宽存储器(HBM3E)或第六代高带宽存储器(HBM4)的制造中。
消息显示,三星半导体暨装置解决方案(Device Solutions;DS)部门已将基于飞秒雷射的晶圆切割设备引入韩国天安厂。尽管目前设备处于初期导入阶段,但未来目标产品可能是HBM4。飞秒雷射技术以1,000万亿分之一秒为单位产生雷射脉冲,其切割精度远高于传统机械式或奈秒雷射,能够显著减少对晶圆电路和布线的影响,同时提升生产效率。
HBM的制造需要将刻有电路的DRAM晶圆堆叠后再切割。三星此次在切割制程中首次引入飞秒雷射设备,正是为了应对市场竞争压力,全力恢复其技术竞争力。业内人士透露,三星正从DRAM设计到HBM制造全流程推动技术创新,飞秒雷射技术成为其突破良率瓶颈的重要尝试。
此外,三星计划大量采购飞秒雷射设备,初期订单由韩国雷射加工业者EO Technics承接,并逐步交货。预计到2025年底前,三星将引进数十台相关设备。未来,该技术还有望扩展至最新DRAM和系统半导体的制造中,进一步扩大其应用范围。
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