新型晶体管设计或将降低对EUV光刻设备的依赖
来源:赵辉 发布时间:1 天前 分享至微信
据报道,英特尔一位董事近日提出,未来的晶体管设计可能会减少对先进光刻设备的依赖,特别是在高端半导体制造领域。这一观点引发了业界对芯片制造技术未来发展方向的关注。

ASML公司的极紫外(EUV)光刻机是目前先进芯片制造的核心设备,被台积电等企业广泛应用于硅片上打印微小电路。然而,EUV技术的复杂性极高,需要多学科技术协同支持才能实现高效量产。尽管ASML曾探索过其他技术路径,但最终未能找到成熟的替代方案。

英特尔董事指出,环绕栅极场效应晶体管(GAAFET)和互补场效应晶体管(CFET)等新型设计,将更多地依赖光刻后的制造步骤,例如刻蚀技术,从而降低光刻技术在高端芯片制造中的重要性。光刻虽然是芯片制造的第一步,用于将设计转移到晶圆上,但后续的沉积和刻蚀工艺同样关键。刻蚀工艺通过选择性去除材料,形成晶体管和电路的最终图案。

目前,大多数晶体管采用FinFET设计,其栅极控制晶体管内部电流。而GAAFET通过将栅极包裹在晶体管周围,提升了控制能力;CFET则进一步将晶体管组堆叠在一起,节省晶圆空间。英特尔董事表示,这些新设计要求芯片制造商更注重横向去除多余材料,而非单纯依赖光刻机缩小特征尺寸。

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