中导光电近日宣布，其NanoPro-150纳米级晶圆检测设备再次获得全球碳化硅（SiC）行业领先客户的复购订单。这款设备将用于该客户8英寸SiC晶圆前道制程的缺陷检测。

中导光电董事长透露，NanoPro-150系列设备的国产化率已超过95%，在保证性能的同时显著降低了客户的设备投入成本。此次订单是该客户继今年初批量采购后，半年内第二次追加。经过三个月的严格技术对标，NanoPro-150在检测效率、稳定性和数据追溯性等核心指标上均表现出色，全面满足客户需求。

图源：中导光电

与传统6英寸SiC晶圆相比，8英寸SiC在单位成本、生产效率和良率控制上具有显著优势，被认为是未来功率半导体产业的主流方向。中导光电此前表示，将在SiC晶圆纳米级缺陷检测领域投入更多研发资源，通过升级高精度多模式缺陷检测技术、优化人工智能AI缺陷识别算法以及提升设备整体性能，进一步提高SiC晶圆制造的质量与效率。

目前，公司正在研发下一代检测设备NanoPro-200和NanoPro-300。其中，NanoPro-200的技术规格已达到40纳米，在AI智能化和自动化方面取得显著突破，而NanoPro-300也已进入研发关键阶段。