Nextin开发新型X光检测设备
来源:陈超月 发布时间:2025-07-22 分享至微信
据韩媒ET News报道,韩国检测设备制造商Nextin正联合美国X光检测技术企业,在韩国成立“Nex-ray”公司,共同开发用于下一代高带宽存储器(HBM)混合键合制程的X光检测设备。该技术预计将在2026年正式导入HBM量产线。

HBM采用3D堆叠结构,通过垂直整合多层DRAM和穿硅通孔(TSV)技术实现高速传输与高带宽。随着堆叠密度提升和封装厚度限制,混合键合技术逐渐取代传统微凸块(micro-bump),成为行业新趋势。混合键合不仅能减少微凸块和接触电阻,还显著降低了封装厚度,但对DRAM晶粒间电气接点的对准精度提出了更高要求,误差范围需控制在±0.1~0.5微米之间,比热压键合技术高出10倍以上。

为了满足这一需求,Nextin计划开发基于平行X光束技术的检测设备。该技术不仅能提升分辨率和检测速度,还能大幅减少芯片的辐射暴露量,避免因辐射导致芯片受损。据悉,新设备在23mm×17mm区域内可实现1.3微米的分辨率,远超现有设备在1mm×1mm区域内2微米的分辨率。

Nextin的目标是在2026年前完成设备原型开发,并通过客户品质评估后投入市场。由于该设备将用于HBM量产线的在线检测,预计对营收的贡献潜力巨大。与此同时,三星电子、SK海力士和美光等存储巨头也在积极布局混合键合技术,为未来市场竞争做好准备。
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