铠侠与长江存储NAND量产,率先采用晶圆键合技术
来源:万德丰 发布时间:2025-07-14 分享至微信
据日刊工业新闻(Nikkan Kogyo)报道,铠侠(Kioxia)已在最新第8代NAND Flash产品中引入CBA(CMOS directly Bonded to Array)晶圆键合技术。与此同时,长江存储也通过类似技术Xtacking实现了NAND量产。这一技术革新标志着NAND Flash研发竞争从堆叠层数转向新领域。

铠侠控股副社长太田裕雄表示,铠侠在CBA技术上已领先竞争对手两代。该技术基于铜直接键合工艺,显著提升了NAND Flash的性能、功耗、面积和成本表现,即PPAC指标。相比传统的CUA(CMOS under Array)技术,CBA可针对存储单元和逻辑电路分别采用最佳制造工艺,再通过键合结合,从而提升可靠性和效能。

晶圆键合技术解决了传统NAND芯片制造中的热处理限制问题。由于存储单元和逻辑电路对热处理的耐受性不同,传统工艺难以兼顾两者。而CBA技术通过分开制造并键合,不仅缩小了芯片面积,还提高了数据传输速度。

长江存储的Xtacking技术同样展现了显著优势。一位熟悉长江存储的半导体设备制造商高层透露,长江存储早期便聚焦晶圆键合技术研发。尽管分开制造存储单元和逻辑电路会增加晶圆数量,但其在效能方面的提升弥补了成本劣势。

此外,长江存储已与三星电子就晶圆键合技术达成授权协议,与铠侠共同推动这一技术的发展。制造商可通过晶圆键合技术在不显著增加堆叠层数的情况下,提升逻辑电路和整体效能,从而实现投资与性能的平衡。

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