英国半导体量测设备供应商Infinitesima近日宣布，其在线晶圆量测系统Metron3D 300mm已成功获得韩国存储器巨头SK海力士的采用，并正式投入其先进DRAM制造厂的量产线中。

据SK海力士缺陷分析、量测与检测技术（DMI）部门负责人崔永铉透露，在先进DRAM制造过程中，纳米级的3D制程控制对提升良率至关重要。经过对Infinitesima的Metron3D系统在多个制程步骤中的特性分析后，评估其总体拥有成本（TCO）能够满足高产量制造的需求，因此决定将其引入量产线。

Metron3D系统是一款超高速在线原子力显微镜（AFM），具备次纳米精度的3D制程控制能力。其影像生成速度比传统AFM快10倍，非常适合高产量制造（HVM）的快速节奏，对SK海力士下一代存储器元件的制造具有重要意义。

Infinitesima表示，Metron3D采用了自主研发的Rapid Probe Microscope（RPM）技术，量测产能较传统AFM提升了10至100倍。此外，该系统还具备晶圆、数据和探针的全自动化处理能力，能够无缝融入半导体的在线量产流程。