6月30日，北交所正式受理了中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司（简称：中科仪）的IPO申请。据公开资料显示，中科仪是中国领先的半导体制造设备核心部件及真空科学仪器设备供应商，专注于干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产与销售。

中科仪在干式真空泵领域的研发创新打破了欧美及日本企业的长期垄断。其产品能够满足14nm先进逻辑芯片及128层及以上3D NAND存储器工艺的生产需求，已在中国多个领先晶圆制造企业中实现大批量应用。公司产品广泛支持中芯国际、长江存储、华虹集团等国内主流晶圆制造企业，以及北方华创、拓荆科技等国内主流半导体设备厂商。此外，中科仪的产品还通过了台积电、大连Intel、SK海力士的测试验证，实现小批量出货。除了硅基半导体，其干式真空泵还可应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体的制备，并已实现批量交付。

在真空科学仪器设备领域，中科仪先后参与了北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置等11项国家重大科技基础设施的建设。公司是这些大科学装置关键真空部件的主要研制单位之一，并因参与上海光源项目获得了2013年国家科技进步一等奖。其前身还成功研制了中国第一台分子束外延设备（MBE），打破了国外长期禁运的局面。

2022年至2024年，中科仪的营业收入分别为6.98亿元、8.52亿元和10.82亿元，对应的净利润分别为4.98亿元、6亿元和1.93亿元。此次IPO，中科仪拟募资8.52亿元，用于干式真空泵产业化建设、高端半导体设备扩产及研发中心建设、新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发等项目。