英特尔18A制程节点详解:与台积电2nm正面竞争
来源:陈超月 发布时间:1 天前 分享至微信
英特尔在VLSI 2025研讨会上发表了一篇关于Intel 18A制程技术的论文,全面展示了这一制程节点在架构、性能和制造方面的改进。据Tom's Hardware报道,Intel 18A制程将在功耗、性能和面积上较上一代显著提升,晶体管密度提高30%,性能提升25%,功耗降低36%。这一制程节点预计于2025年下半年量产,将与台积电的2纳米制程展开正面竞争。

Intel 18A制程技术专为客户端和数据中心应用设计,首款采用该制程的产品将是英特尔的Panther Lake CPU,计划于2025年稍晚发布。相比Intel 3,Intel 18A在相同时脉频率和1.1V电压下,功耗降低36%;而在0.75V低电压下,速度提升18%,能耗降低38%。此外,采用Intel 18A的芯片设计面积比使用Intel 3的设计减少约28%,进一步优化了芯片的集成度。

Intel 18A架构基于英特尔第2代RibbonFET GAA晶体管,并结合PowerVia背面供电网络(BSPDN)技术。PowerVia技术通过将电源输送至晶体管背面,相比台积电的Super Power Rail部分背面供电方案,设计复杂性有所不同。英特尔还引入了新型高密度“金属-绝缘体-金属”(MIM)电容,以增强电源稳定性。

在生产流程方面,Intel 18A通过背面金属层设计简化了芯片制造。将电力传输移至背面后,无需正面电网,结合极紫外光(EUV)图案化技术减少了光罩总数,并优化了前端金属工艺。此外,M0-M2金属层实现了单次EUV图案化,进一步降低了工艺复杂性,同时降低了成本。

Intel 18A的背面金属层设计具有低电阻和高导热性,可有效管理GAA晶体管的高功率密度。通过优化载体晶圆键合技术,PowerVia还支持背面散热,解决了高性能晶体管带来的散热难题。这一技术还兼容Foveros和嵌入式多芯片互连桥接(EMIB)等先进封装方案。

Intel 18A制程技术已经通过了1000小时高温老化与热循环的JEDEC可靠性测试,验证了其在需要长时间运行的设计中的可靠性。这一制程节点不仅提升了性能和能效,还优化了生产流程,为未来的芯片设计提供了更高效的解决方案。
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