国内首条12英寸智能微流控芯片产线启动建设
来源:赵辉 发布时间:2025-06-24 分享至微信
6月20日,广东越海集成技术有限公司宣布其首批MEMS制造设备正式入驻厂区。这标志着国内首条12英寸CMOS-MEMS智能微流控芯片量产线全面启动建设。据越海集成透露,该产线首期将实现每月1500片喷墨打印芯片的产能目标。

智能微流控芯片被称为液体数字化的“核心引擎”,具备皮升级精度高通量操控液体的能力,广泛应用于喷墨打印、生物医疗及超精密机械加工领域。然而,这一市场长期被意法半导体、惠普、佳能等国际巨头垄断,国产化率几乎为零。据Yole报告显示,2023年全球MEMS晶圆出货量达400万片,其中智能微流控芯片占据150万片,而中国市场几乎完全依赖进口。此次产线建设的目标正是打破这一局面,推动核心技术实现自主可控。

越海集成专注于晶圆级先进封装业务,掌握TSV技术、再布线技术、微凸点技术以及晶圆堆叠技术。公司依托现有的2.5D和3D封装能力,重点发展异质异构集成技术,致力于智能传感器的研发与生产。

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