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全国首台！国产电子束光刻机突破

来源:芯极速发布时间:2 天前

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据杭州日报报道，全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试。

该设备由浙江大学余杭量子研究院自主研发，据研发团队负责人表示，“这不仅是一台设备，更像一支能在头发丝上雕刻整座城市地图的纳米画笔。”与传统光刻机相比，电子束光刻机在原型设计、快速迭代和小批量试制方面具有独特优势。

电子束光刻机在做应用测试

“羲之”的命名源自中国古代书法大家王羲之，寓意用电子束代替毛笔，在芯片上“写字作画”。其性能已比肩国际主流水平，为国内量子芯片等高端器件的研发提供了自主可控的“刻刀”。

据称，该设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6nm，线宽8nm，可灵活修改设计无须掩膜版，特别适合芯片研发初期的反复调试。

报道称，其定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。

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