晶升股份推出新一代8英寸碳化硅外延炉
来源:李智衍 发布时间:1 天前
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8月5日,晶升股份在其官方微信公众号宣布,成功研发出新一代SCML320A系列水平式8英寸碳化硅外延炉。
据晶升股份介绍,这款SCML320A碳化硅外延炉的性能指标达到了国际先进水平。设备的生长速率≥60μm/h,膜厚均匀性<1%,掺杂均匀性<2%,并支持N型和P型两种掺杂类型,可满足不同产品的多样化需求。此外,该设备采用成熟的生长工艺,边部参数可控,工艺调整灵活,新增掺杂气体工艺,进一步提升了生产稳定性。
晶升股份成立于2012年,专注于半导体晶体生长设备领域。公司于2016年成功研制首台12英寸半导体级单晶硅炉,并在2018年交付首台第三代化合物半导体碳化硅单晶炉。2023年,晶升股份在上交所科创板上市,主要从事晶体生长设备的研发、生产和销售,为半导体材料厂商及其他客户提供定制化产品,包括半导体级单晶硅炉、碳化硅单晶炉等。
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