三星专家称DRAM将全面转向FinFET制程
来源:赵辉 发布时间:4 天前
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据韩媒Money Today、ZDNet Korea等报道,三星电子(Samsung Electronics)技术专家吴正勋(音译)近日在韩国丽水市举行的“2025年半导体工程学会夏季综合学术大会”上表示,现有的埋入式通道阵列晶体管(BCAT)架构在10纳米以下制程中将面临技术极限。这一架构虽然通过缩短通道长度减少漏电并提升存储器单元密度,但在更先进制程中,金属层电阻和散热问题将成为瓶颈。
为应对这一挑战,三星正考虑将FinFET制程引入DRAM领域。FinFET是一种3D晶体管技术,通过三面包裹通道的闸极设计有效控制电流,此前主要应用于系统半导体和晶圆代工领域。吴正勋指出,随着晶圆代工技术从FinFET向环绕式闸极(GAA)演进,DRAM领域也可能遵循类似路径,未来将全面转向FinFET制程。
值得注意的是,FinFET制程将主要用于外围晶体管,即控制DRAM单元周边电路的元件。此外,韩媒分析认为,三星可能在4F Square技术基础上率先导入FinFET制程,为后续3D DRAM的研发铺路。针对晶圆代工技术是否加速融入存储器制程的提问,吴正勋给出了肯定答复,但并未透露具体导入时间表。
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