深圳纳设智能突破碳化硅装备技术,实现产业化应用
来源:李智衍 发布时间:3 天前
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据深圳特区报报道,深圳市纳设智能装备股份有限公司(简称“纳设智能”)在碳化硅装备技术领域取得重要突破,其自主研发的设备已实现全面产业化。
碳化硅因其优异性能,在新能源汽车、智能电网等下游领域具有广阔应用前景。然而,碳化硅材料生产核心环节的外延设备长期依赖进口,高温沉积均匀性与设备稳定性等关键技术受制于人,国产化进程面临诸多挑战。
为突破这一瓶颈,纳设智能创始人陈炳安带领团队自主研发了多区进气系统,该系统可独立控制,显著提升了设备工艺的均匀性。同时,通过与深圳先进院联合成立实验室,团队成功将碳化硅外延设备工艺良率提升至98%。针对进口设备耗材成本高、维护复杂的问题,纳设智能创新设计反应腔室,不仅使耗材成本降低30%,还大幅简化了维护流程。
经过数年努力,陈炳安团队攻克多项技术难关,成功研发出5款化学气相沉积设备,填补了国内先进材料产业链上游关键设备的空白。目前,纳设智能正全力推进光伏钙钛矿领域的大尺寸设备研发,预计年内实现相关产品上市。
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