肖特基型p-GaN栅HEMT跨导特性研究取得新进展
来源:陈超月 发布时间:22 小时前
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据报道,深圳平湖实验室近期在功率半导体器件领域取得重要研究成果。其论文《肖特基型p-GaN栅HEMT中双跨导峰与单跨导峰的演变:部分耗尽与完全耗尽p-GaN层的影响》被IEEE ISPSD接收,该会议是功率半导体领域最具影响力的国际学术盛会,被誉为“奥林匹克”级平台。
论文第一作者为刘轩博士,通讯作者为万玉喜和David Zhou。研究围绕肖特基型p-GaN栅HEMT器件展开,首次系统揭示了双跨导峰特性及其与p-GaN层激活状态的演化规律,为商用化器件的栅极结构设计提供了理论依据。
研究团队通过对比实验设计了三组部分耗尽(PDP-GaN)和一组完全耗尽(FDP-GaN)样品,系统分析了p-GaN层Mg激活浓度与跨导(Gm)特性之间的关系。实验结果表明,PDP-GaN器件的跨导曲线呈现双峰特征,而FDP-GaN器件则表现为单峰,其栅极堆叠层可近似等效为MIS栅结构。
进一步研究表明,在PDP-GaN器件中,随着Mg激活浓度降低,第一Gm峰的幅值逐渐减小,而第二Gm峰的幅值位置向高栅压偏移且幅值衰减。通过TCAD仿真验证,双跨导峰行为与栅极堆叠层背靠背结的栅压分配机制密切相关。低栅压下,势垒层电压和沟道电压主导第一Gm峰;高栅压下,肖特基结电压则主导第二Gm峰。

图源:平湖实验室
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