5月23日，珠海恒格微电子装备有限公司（简称“恒格微电子”）在珠海高新区举办了一场发布会，正式推出其最新研发的恒格等离子多驱解离刻蚀设备。

发布会上，恒格微电子与电子薄膜与集成器件全国重点实验室签署了深度产学研合作协议。双方将围绕半导体设备核心技术研发和专业人才培养展开战略合作。电子科技大学代表表示，“此次合作将有效推动高校科研成果的转化，为国产半导体装备技术的升级提供支持。”

恒格微电子还与国内显示面板龙头企业达成工艺合作开发协议，双方将针对显示面板制造中的刻蚀工艺需求进行联合研发。这一合作旨在推动国产等离子刻蚀设备在显示领域的规模化应用，加速面板行业核心装备的国产化进程。同时，恒格微电子与三叠纪公司达成战略合作，聚焦TGV-等离子刻蚀设备的研发与产业化应用。

珠海高新区党工委委员、管委会副主任薛飞在致辞中提到，恒格微电子从PCB设备细分领域的领先企业逐步发展为半导体装备领域的新兴力量，充分体现了珠海硬科技企业的创新能力和行业担当。他希望恒格微电子继续深耕技术研发，为粤港澳大湾区打造半导体产业高地贡献力量。