据韩媒ET News援引业界消息，ASML与三星原计划在韩国华城市共同设立EUV研发中心的合作计划已因ASML出售土地而取消。目前，双方正重新评估合作模式，寻找更具效率的替代方案。
2023年12月，ASML与三星宣布将共同投资7亿欧元（约合7.96亿美元）在韩国首都圈打造EUV研发中心，以支持先进制程技术的开发。ASML为此于2024年6月购入京畿道华城市的6块土地，总面积约1.9万平方米。然而，近期ASML已出售其中2块土地，并正在处理另外2块土地的转让事宜。剩余土地也未计划用于与三星共同设立研发中心。
ASML生产的极紫外光（EUV）微影设备是全球唯一能够支持10纳米以下先进制程的核心设备。三星希望通过与ASML的合作，进一步推动晶圆代工和存储器制造领域的技术发展。尽管华城研发中心计划取消，但双方均表示，共同研发的必要性得到了确认，并正在探讨新的合作模式。
目前，双方正在研究如何快速推进合作，同时提高投资效率。有业内人士透露，将研发中心设在三星现有厂区内也是一个可能的方向。不过，对于土地出售的具体原因及计划调整的细节，ASML和三星均未透露更多内容。
ASML强调，外界传言的合作取消并不属实，双方仍保持紧密合作。三星也表示，ASML出售土地的行为与其无关，双方的合作仍在持续推进中。
