中国光刻机之父贺荣明二次创业,智慧星空完成超8亿元融资
来源:林慧宇 发布时间:2025-03-31 分享至微信
据企查查显示,智慧星空近日完成超8亿元战略融资,由浦东科创集团及海望资本领投,国投(广东)科技成果转化基金等多家机构跟投。融资完成后,公司注册资本从1.97亿元增至2.94亿元,增幅达49%,创下国内半导体装备领域年度单笔融资新高。其中,浦东科创集团及旗下基金海望资本出资近3亿元。

智慧星空成立于2021年,总部位于广州,同年在上海浦东设立智慧星空(上海)工程技术有限公司。创始人贺荣明被誉为“中国光刻机之父”,曾任职于上海微电子装备有限公司(简称“SMEE”)。在他的带领下,团队成功研发出国内首台光刻机,填补了国内高端光刻机领域的空白。

贺荣明1985年毕业于同济大学机械工程管理系,毕业后进入原上海机电工业管理局,从事国外技术引进工作,后又加入上海电气(集团)总公司。2002年,他受命组建上海微电子装备有限公司,开启半导体领域的创业之路。在团队的努力下,2007年首台国产光刻机成功曝光,2009年自主设计的100纳米投影光刻机样机研制成功,为国家02科技重大专项奠定了基础。2010年,公司推出先进封装光刻机,国内市场占有率超80%,国际市场占有率达33%。

2021年,贺荣明开启第二次创业,创立智慧星空,聚焦半导体器件专用设备和精密制造装备领域。公司以精密机械、光电、运动控制和复杂软件为核心技术,致力于研发半导体、泛半导体、新能源、生物医药等领域的创新装备。

目前,智慧星空已推出多款核心产品,包括光刻设备、自动键合设备、纳米压印设备和量测设备。其中,光刻设备中的整面曝光机适用于Micro-LED、封装基板和先进封装领域;纳米压印设备具备自动对焦和自动压印能力,可应用于MEMS、微透镜阵列等领域;自动键合设备涵盖芯片与晶圆键合、晶圆级MEMS封装键合等应用;量测设备则实现高精度样品图案位置信息的测量。

2024年12月,智慧星空总部及高端装备产业化基地项目在浦东康桥工业区正式开工,成为浦东10个重大科技产业项目之一。该项目占地面积约43亩,总投资约6.5亿元,总建筑面积约6.7万平方米,主要发展人工智能芯片关键工艺高端装备及生命科学先进科学仪器。项目投产后预计可实现工业产值10亿元。

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